因此，電容耦合等離子體與電感耦合等離子體我們經(jīng)常聽到“電容不止于電容”的說法。實際的電容器總是有一個寄生電容，它在低頻時并不重要，但在高頻時它可以超過電容本身。隨磁場能量變化的角度很容易理解，當電流變化時，磁場能量也會發(fā)生變化，但由于電感的特性，無法進行能量跳躍。電容電流的變化可以在一定程度上延遲，增加電感可以提高電容的充/放電阻抗，延長整個電源的響應時間。固有頻率是區(qū)分諧振和電容兼容性以及電感的分界點。

處理聚四氟乙烯板，電容耦合的等離子體增加鍍層粘接強度；處理板的表面，以增加干燥，提高薄膜焊面粘接力；在焊接區(qū)去除殘留敷行涂覆，（等離子體清洗機）以增加粘接和可焊性。在軟性或硬性電路板中，在層壓前清潔聚合物內層面，提高粘接性。清潔金觸點，以提高線材粘接強力；接觸點進行脫氧。（等離子體清洗機）在封裝前或聚對二苯基涂層前，將電子部件進行激活。在鍍銅加工前，將絕緣膜電容進行處理。等離子體處理，對印刷板的孔徑和厚度的比例是無限制的。

但是穩(wěn)壓電源不能很快響應負載電流的變化，電容耦合的等離子體因此，I0電流不能立即滿足負載瞬態(tài)電流的要求，因此負載芯片的電壓會下降。但是由于電容電壓與負載電壓相同，因此在電容兩頭都存在電壓變化。就電容而言，電壓變化必然會產生電流，此時電容對負載放電，電流Ic不再是0，電流供給負載芯片。如果電容C滿足較大的要求，并且電壓變化很小，電容就能滿足較大的電流，滿足負載態(tài)電流的要求。

.. , 由于空氣電容不能正常工作，電容耦合的等離子體射頻輸出阻抗無法調節(jié)，三極管失效。另外，如果在使用 matcher 時沒有正確調整初始值，則會出現(xiàn)匹配時間。時間過長或具有發(fā)光的真空腔的不穩(wěn)定放電會損壞晶體管。二、matcher日常使用注意事項在射頻真空等離子設備的日常使用中，注意匹配器的日常檢查，有助于延長匹配器的使用壽命，降低故障率。

電容耦合的等離子體

根據(jù)以上特點，可以先觀察電路板上的低阻電阻是否有燒黑的痕跡，然后根據(jù)大部分電阻是開路還是根據(jù)電阻來判斷。當電阻損壞時，值增加，高電阻值損壞。因為電阻容易損壞，所以可以用萬用表直接測量電路板上高阻電阻兩端的阻值。如果測得的電阻大于標稱電阻，肯定會損壞電阻（注意數(shù)值顯示穩(wěn)定后等阻）。有充放電過程，因為電路中可能存在并聯(lián)電容元件），所以如果測得的電阻小于標稱電阻，通常忽略。這樣，電路板上的所有電阻都被重新測量。

圖1 電容耦合等離子體放電現(xiàn)象蝕刻過程中復雜的物理和化學反應使得難以解釋不同中性粒子和帶電粒子之間的電場（電場、流場、力場等），等離子體蝕刻。還有一篇文章為初學者簡單介紹了等離子刻蝕的主要工藝，但對原理的解釋非常有限。

真空等離子體設備清洗產品前必須要做的準備有哪些？一、真空等離子體設備的工作原理真空等離子體設備以氣體為清理介質，能有效地避免液體清理介質對清理物件的再次污染。利用外接進口真空泵，清理腔體內的等離子體沖刷待清理物件的的表面，可以在短時間內徹底清理有(機)污染物。同時污染物被進口真空泵抽走，從而達到清理的目的。在特定的環(huán)境中，其屬性可以根據(jù)不同的產品的表面而改變。

等離子表面處理設備的發(fā)明，不僅提高了設備??的效率和生產率，而且達到了安全、環(huán)保的目的。該設備可用于材料科學、聚合物科學、生物醫(yī)學材料科學、微流體研究、微機電系統(tǒng)、光學、微技術、牙科和其他學科。鑒于其普遍適用范圍和顯著改進空間，外來等離子體表面處理技術也取得了快速進展。 2008年等離子表面處理設備的國民生產總值達到3000億元。消費者對品質的要求越來越高。

電容耦合等離子體與電感耦合等離子體

此外，電容耦合的等離子體航空制造等離子清洗技術不分處理對象的基材類型，對半導體、金屬及大部分聚合物都有良好的處理效果，并能實現(xiàn)整體、局部及復雜結構的清洗。該航空制造領域清洗技術易于實現(xiàn)自動化和數(shù)字化流程，可裝配高精度控制設備，時間控制準確，具有記憶功能等。正因為等離子體清洗技術具有操作簡單、精準控制等顯著的優(yōu)點，才被廣泛應用于電子電氣、材料表面改性和活化等諸多領域。

原子團等自由基與物體表面的反應 由于這些自由基呈電中性，電容耦合等離子體與電感耦合等離子體存在壽命較長，而且在等離子體中的數(shù)量多于離子，因此自由基在等離子體中發(fā)揮著重要的作用。