PDMS芯片鍵合儀等離子表面處理應(yīng)用，氧等離子提高PDMS與和硅片或玻璃片的鍵合牢固性
PDMS芯片與基片如玻璃片、硅片等的鍵合，利用氧等離子處理PDMS及基片，改變兩者的表面化學(xué)性質(zhì)，活化了PDMS聚合物和基片的表面。通過氧等離子清洗機(jī)處理后的PDMS芯片與基片能形成Si-O-Si牢固且不可逆的鍵合。PDMS微流控芯片，又叫聚二甲基硅氧烷微流控芯片，由聚二甲基硅氧烷也就是PDMS制成。PDMS是一種高分子聚合物材料，透明、彈性和可塑性較好的材料?？梢杂糜趶?fù)制微結(jié)構(gòu)，廣泛應(yīng)用于微流體實(shí)驗(yàn)室、生物芯片、生物分析、藥物篩選、化學(xué)反應(yīng)等應(yīng)用。通過精心設(shè)計(jì)和制備，PDMS芯片可以提供微型化、高通量和
